本发明涉及一种半导体器件。本发明所提供的启动电路允许基准电压生成电路在极短时间周期内启动并达到稳定平衡状态。该启动电路配置成即使不向该启动电路供电时也保持与处于稳定平衡状态中的基准电压生成电路的内部电压基本相同的电压。当基准电压生成电路被启动时,从启动电路向基准电压生成电路输出电压。
1.一种半导体器件,包括:启动电路,包括:第一晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子;控制电路,其电连接至所述第一晶体管的所述栅极;以及电容器,其电连接至所述第一晶体管的所述第一端子;以及基准电压生成电路,其电连接至所述第一晶体管的所述第二端子,其中,所述第一晶体管包括其中形成有沟道的氧化物半导体层。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述控制电路和所述基准电压生成电路的功率输入部。
3.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述控制电路配置成向所述第一晶体管的所述栅极传输控制信号。
4.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述基准电压生成电路的负载电路,其中所述电容器的电容比所述负载电路的电容高。
5.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌中的至少一种。
6.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌。
7.一种半导体器件,包括:启动电路,包括:第一晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子;控制电路,其电连接至所述第一晶体管的所述栅极;电容器,其电连接至所述第一晶体管的所述第一端子;基准电压生成电路,其电连接至所述第一晶体管的所述第二端子;以及功率输入部,其通过所述控制电路电连接至所述基准电压生成电路,其中,所述第一晶体管包括其中形成有沟道的氧化物半导体层。
8.如权利要求7所述的半导体器件,其特征在于,所述控制电路配置成向所述第一晶体管的所述栅极传输控制信号。
9.如权利要求7所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述基准电压生成电路的负载电路,其中所述电容器的电容比所述负载电路的电容高。
10.如权利要求7所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌中的至少一种。
11.如权利要求7所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌。
12.一种半导体器件,包括:启动电路,包括:第一晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子;第二晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子;控制电路,其电连接至所述第一晶体管的所述栅极和所述第二晶体管的所述栅极;第一电容器,其电连接至所述第一晶体管的所述第一端子;以及第二电容器,其电连接至所述第二晶体管的所述第一端子;以及基准电压生成电路,其电连接至所述第一晶体管的所述第二端子和所述第二晶体管的所述第二端子,其中,所述第一晶体管和所述第二晶体管的每一个包括其中形成有沟道的氧化物半导体层。
13.如权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述控制电路和所述基准电压生成电路的功率输入部。
14.如权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,所述控制电路配置成向所述第一晶体管的所述栅极和所述第二晶体管的所述栅极传输控制信号。
15.如权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述基准电压生成电路的负载电路。
16.如权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌中的至少一种。
17.如权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌。
18.一种半导体器件,包括:启动电路,包括:第一晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子;第二晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子,所述第二晶体管的所述栅极电连接至所述第一晶体管的所述栅极;第三晶体管,其包括栅极、第一端子以及第二端子;控制电路,其电连接至所述第一晶体管的所述栅极、所述第二晶体管的所述栅极以及所述第三晶体管的所述栅极;第一电容器,其电连接至所述第一晶体管的所述第一端子;以及第二电容器,其电连接至所述第二晶体管的所述第一端子;以及基准电压生成电路,其电连接至所述第一晶体管的所述第二端子、所述第二晶体管的所述第二端子以及所述第三晶体管的所述第二端子;其中所述第一晶体管和所述第二晶体管的每一个包括其中形成有沟道的氧化物半导体层。
19.如权利要求18所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述控制电路和所述第三晶体管的所述第一端子的功率输入部。
20.如权利要求18所述的半导体器件,其特征在于,所述控制电路配置成向所述第一晶体管的所述栅极和所述第二晶体管的所述栅极传输控制信号。
21.如权利要求18所述的半导体器件,其特征在于,还包括电连接至所述基准电压生成电路的负载电路。
22.如权利要求18所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌中的至少一种。
23.如权利要求18所述的半导体器件,其特征在于,所述氧化物半导体层包括铟和锌。发明背景1.技术领域本发明涉及使用半导体元件的半导体器件。2.现有技术说明通常,要求模拟电路的输出无关于电源电压等的波动而高度精确和稳定,且因此在许多情况下需要稳定基准电压。用于生成这种稳定基准电压的基准电压生成电路是公知的。作为基准电压生成电路,已知基于阈值电压型、β倍增自偏压型、基于带隙型等的各种电路。这些基准电压生成电路中的大多数通过供应微小电流来驱动。但是,当在启动基准电压生成电路时向这种基准电压生成电路简单地输入电源电压时,在一些情形下不能适当地启动基准电压生成电路。具体地,在一些情况下,即使在输入电源电压时,基准电压生成电路仍处于电路中没有电流流动的稳定状态,且因此电路未被启动,或者即使电路被启动电路也需要相当长时间来达到稳定的平衡状态。因此,已知一种方法,其中用于施加初始电压的启动电路连接至基准电压生成电路,以便实现基准电压生成电路的快速启动,其中当输入电力时该初始电压促进基准电压生成电路的启动(非专利文献1)。图8示出连接至常规启动电路的β倍增自偏压基准电压生成电路的配置示例。启动电路501包括:晶体管511、晶体管512以及晶体管513。晶体管511的第一电极连接至功率输入部VDD,晶体管511的第二电极和栅极连接至晶体管512的第一电极和晶体管513的栅极。晶体管512的栅极连接至晶体管513的第二电极,而晶体管512的第二电极连接至接地电压输入部GND。在此,连接至晶体管511的栅极的节点被称作节点(a)。基准电压生成电路502包括:晶体管521、晶体管522、晶体管523、晶体管524、以及电阻器525。晶体管521的第一电极连接至功率输入部VDD,晶体管521的栅极和第二电极连接至晶体管522的栅极和晶体管523的第一电极。晶体管522的第一电极连接至功率输入部VDD,而晶体管522的第二电极连接至晶体管523的栅极、晶体管524的第一电极和栅极。晶体管523的第二电极连接至电阻器525的第一电极。电阻器525的第二电极和晶体管524的第二电极连接至接地电压输入部GND。在此,连接至晶体管521和晶体管522的栅极的节点被称作节点(b),而连接至晶体管523和晶体管524的栅极的节点被称作节点(c)。要注意,节点(c)对应于输出部OUT的节点。启动电路中的晶体管513的第一电极和第二电极分别连接至节点(b)和节点(c),以使启动电路501和基准电压生成电路502相互电连接。要注意,晶体管511、晶体管521和晶体管522均为p沟道晶体管,而晶体管512、晶体管513、晶体管523和晶体管524均为n沟道晶体管。在该配置中,将负载电容器531连接为输出负载。向功率输入部VDD施加电源电压V_dd。当不供电时,功率输入部VDD可处于浮动状态或得到接地电压V_gnd的供应。此外,接地电压V_gnd输入至接地电压输入部GND。在此,可使用比电源电压V_dd低的电压来取代接地电压V_gnd。例如,可将各电路共用的公共电压或0V用作接地电压V_gnd。可将接地电压输入部GND设置为低电源电压。要注意,当用于功率输入部VDD的高电源电压是基准时,低电源电压是比高电源电压低的电压。在该配置中,向接地电压输入部GND施加接地电压V_gnd。接着,将描述启动电路501和基准电压生成电路502的操作。首先,在输入功率前,即,当未向功率输入部VDD施加电源电压V_dd时,电流不流入基准电压生成电路502中的晶体管521、晶体管522、晶体管523、晶体管524以及晶体管525。在此,所有晶体管处于截止状态且电流不流入晶体管的状态是基准电压生成电路502的诸亚稳态中的一个状态。接着,向功率输入部VDD施加电源电压V_dd。但是,因为基准电压生成电路502稳定在亚稳态中,所以即使在向功率输入部VDD施加电源电压V_dd时,基准电压生成电路502也操作以保持该状态。换言之,紧接着向功率输入部VDD施加电源电压V_dd之后,连接至晶体管521和晶体管522的栅极的节点(b)的电压变为V_dd,以使在晶体管521和晶体管522各自的栅极和源极之间不产生电压差,由此维持晶体管的截止状态。同样地,连接至晶体管523和晶体管524的栅极的节点(c)的电压变为接地电压V_gnd,以使晶体管523和晶体管524处于截止状态。同时,在启动电路501中,在向功率输入部VDD施加电源电压V_dd时,连接至晶体管511的栅极的节点(a)的电压从V_dd变为V_dd与V_thp(在此,V_thp是各p沟道晶体管的阈值电压)之间的电压。因此,在晶体管513的连接至节点(a)的栅极和其第二电极之间产生电压差,晶体管513导通,且电流从节点(b)流向节点(c)。相应地,晶体管513的第一电极的电压,即,节点(b)的电压从电源电压V_dd降低;同时,晶体管513的第二电极的电压,即,节点(c)的电压从接地电压V_gnd升高。在基准电压生成电路502中,节点(b)的电压从V_dd降低,这允许晶体管521和晶体管522导通;同时,节点(c)的电压从接地电压V_gnd升高,这允许晶体管523和晶体管524导通。因此,基准电压生成电路502脱离没有电流流动的亚稳态而开始运作。另一方面,节点(c)的电压升高允许其栅极连接至节点(c)的晶体管512导通。相应地,电流流经晶体管512,以使节点(a)的电压降至接地电压V_gnd,且因此晶体管513截止。当晶体管513截止时,如上所述地从节点(b)流向节点(c)的电流被阻断,且启动电路501与基准电压生成电路502完全地电隔离。此后,基准电压生成电路502达到稳定平衡的状态。换言之,节点(b)的电压从V_dd降低,然后达到高于或等于接地电压V_gnd且低于或等于电源电压V_dd的某一电压,且达到稳定;同样地,节点(c)的电压从接地电压V_gnd升高,然后达到高于或等于接地电压V_gnd且低于或等于电源电压V_dd的某一电压,且达到稳定。在此,节点(c)的电压对应于基准电压生成电路502的输出电压。以该方式,当输入功率时,启动电路起到输入电压的作用,其允许基准电压生成电路脱离亚稳态,并向基准电压生成电路提示其启动。[参考文献][非专利文献][非专利文献1]R.Jacobxa0Baker(2005),CMOS电路设计、布局及仿真(CMOSxa0Circuitxa0Design,Layout,andxa0Simulation)第二版,(IEEE出版社),第625页
发明内容
但是,连接有诸如常规启动电路的基准电压生成电路中存在的问题是,在向基准电压生成电路输入电源电压后,其需要长时间来稳定输出电压。因此,本发明的一个实施例的目的在于提供一种电路,在该电路中从向基准电压生成电路输入电源电压到基准电压生成电路达到稳定平衡状态时的周期被缩短。为了实现以上目的,本发明的一个实施例聚焦于从启动电路输出的初始电压。从启动电路输出的初始电压(下文中也称作初始电压V₀)比电源电压V_dd略低,或比接地电压V_gnd略高。但是,在基准电压生成电路中,由于输入初始电压V₀与处于稳定平衡状态的输入节点的电压(下文中也称为电压V_sta)之间的差增大,从启动电路输出的初始电压V₀所输入的输入节点的电压达到电压V_sta所需的时间被延长。因此,为了缩短输入功率至基准电压生成电路达到稳定平衡状态时的周期,从启动电路输入到基准电压生成电路的初始电压V₀可被设置成接近处于稳定平衡状态中的基准电压生成电路的内部电压V_sta的电压。此外,启动电路可配置成即使在不供电时也保持该电压,并在启动时输出该电压。即,本发明的一个实施例是一种半导体器件,该半导体器件包括:晶体管,该晶体管的第一电极电连接至电容器而第二电极电连接至基准电压生成电路;以及控制电路,该控制电路电连接至晶体管的栅极。该控制电路在基准电压生成电路停止操作前使晶体管截止,以使输入至晶体管的第二电极的电压保持在晶体管的第一电极与电容器之间的节点中,且在基准电压生成电路启动时导通该晶体管,以使保持在节点中的电压被输出至晶体管的第二电极。包含在启动电路中的晶体管的源极和漏极中的一个连接至电容器的一个电极,源极和漏极中的另一个电连接至基准电压生成电路的输入部的节点(下文中也称作输入节点),且由连接至晶体管栅极的控制电路来控制晶体管。晶体管与电容器之间的存储节点可保持接近处于稳定平衡状态的基准电压生成电路的内部电压的电压,具体地,保持接近处于稳定平衡状态的输入节点的电压V_sta的电压。当基准电压生成电路运作并处于稳定平衡状态时,控制电路导通晶体管,且就在基准电压生成电路停止运作前使晶体管截止,由此可将接近V_sta的电压保持在存储节点中。在再次输入功率以启动基准电压生成电路,同时接近电压V_sta的电压被保持在存储节点中的情况下,当控制电路导通晶体管时,由保持在存储节点中的电压将基准电压生成电路的输入节点的电压即时升高至接近V_sta的电压;因此,基准电压生成电路可在极短时间内达到稳定平衡状态。这种配置和方法可极大地缩短从输入功率到基准电压生成电路达到稳定平衡状态时的周期。本发明的一个实施例是一种半导体器件,其中包含在晶体管的沟道中的半导体材料包括氧化物半导体材料。本发明的一个实施例是一种半导体器件,其中每微米沟道宽度的电流密度是100yA/μm,或者当晶体管处于截止状态时,电流密度更低。可使用包含氧化物半导体的半导体材料来形成连接至存储节点的晶体管的沟道。在使用包含氧化物半导体的半导体层的晶体管中,处于截止状态的漏电流可极低,且电压可长时间保持在存储节点中;相应地,可提供基准电压生成电路的启动电路,该启动电路在即使长时间不供电时也可运作。本发明的一个实施例是一种半导体器件,其中基准电压生成电路的电源是受控的。输入至基准电压生成电路的电源电压由启动电路中的控制电路来控制。在这种配置中,即使在输入功率时,控制电路也可停止向基准电压生成电路供电,且因此在不需要时,基准电压生成电路可被停用;相应地,不必要的功耗可被抑制,且可实现用低功率来驱动的基准电压生成电路。本发明的一个实施例是一种半导体器件,其中电容器的电容比连接至基准电压生成电路的负载电容器的电容高。根据本发明的一个实施例,可从启动电路输出的初始电压V₀的最大电压V_0max按照连接至存储节点的电容器的电容与负载电容之间的关系来确定,负载电容是基准电压生成电路的电容和连接至基准电压生成电路的输出部的电容器的电容之和。例如,在连接至存储节点的电容器的电容由C_f表示、负载电容由C_L表示、保持在存储节点中的电压等于V_sta且输入节点的初始电压等于接地电压V_gnd的情况下,初始电压的最大值V_0max是V_sta×(C_f/(C_f+C_L))。因此,随着C_f与C_L的比率增大,输出至基准电压生成电路的输入节点的初始电压V₀可变得更接近V_sta,且基准电压生成电路的启动时间可变得更短。在此,至少C_f大于C_L,由此可向输入节点输入比V_sta的一半高的电压,且基准电压生成电路的启动时间可充分缩短。当输入节点的初始电压等于V_dd且比V_dd低的电压被输出至输入节点作为初始电压V₀时,可获得相似效果。根据本发明的一个实施例,可提供一种电路,在该电路中从向基准电压生成电路输入电源电压到基准电压生成电路达到稳定平衡状态时的周期被缩短。附图简述在附图中:图1示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的配置;图2示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的时序图;图3示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的配置;图4示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的时序图;图5示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的配置;图6示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的配置;图7示出根据本发明的一个实施例的基准电压生成电路等的启动电路的配置;图8示出基准电压生成电路等的常规启动电路的配置;图9A至9E示出根据本发明的一个实施例的晶体管的结构和制造方法;图10A至10D示出根据本发明实施例的晶体管结构;图11A和11B是在本发明的示例1中使用的电路图;图12示出本发明的示例1中的流逝时间与输出电位之间的关系;图13是特性评估用电路的示图;图14是特性评估用电路的时序图;图15表示特性评估用电路中的流逝时间与输出信号电位之间的关系;图16示出根据特性评估用电路中的测量值计算的流逝时间与漏电流之间的关系;以及图17示出特性评估用电路中的节点A的电位与漏电流之间的关系。
具体实施方式
将参考附图来描述诸实施例。要注意,本发明不限于以下描述,且本领域技术人员将容易理解,可按各种方式改变实施方式与细节而不背离本发明的精神与范围。因此,本发明不应被解释为限于以下诸实施例的描述。要注意,在以下进行描述的本发明的结构中,在不同附图中,由相同附图标记指示相同部分或具有类似功能的部分,且不再重复其描述。要注意,在本说明书中的各附图中,在一些情况下,出于清楚目的,尺寸、层厚、或各部件的区域被放大。因此,本发明的实施例不限于这种缩放比例。晶体管是一种半导体元件,且可实现电流或电压的放大、用于控制导电或不导电的开关操作等。本说明书中的晶体管包括绝缘栅场效应晶体管(IGFET)和薄膜晶体管(TFT)。要注意,在本说明书中使用的电路图或框图中,可特别地在晶体管旁写有“OS”,以便澄清氧化物半导体用于晶体管的半导体层。例如,当使用相反极性的晶体管或在电路操作中改变电流流向时,“源极”与“漏极”的功能有时可彼此互换。因此,在本说明书中术语“源极”与“漏极”可分别用于表示漏极和源极。在本说明书中,在一些情形下,晶体管的源极与漏极中的一个被称作“第一电极”,而源极与漏极中的另一个被称作“第二电极”。要注意,栅极被称作“栅极”或“栅电极”。要注意,在本说明书中,术语“电连接”包括部件通过具有任何电功能的对象连接的情形。只要可在通过该对象连接的部件之间传输和接收电信号,对于具有电功能的对象就没有具体限制。“具有任何电功能的对象”的示例是诸如晶体管的开关元件、电阻器、电感器、电容器、以及具有各种功能以及电极和布线的元件。要注意,本说明书中的节点等意味着实现包含在电路中的元件之间的电连接的元件(布线)。因此,“连接至A的节点”是电连接至A的布线,且可被视作与A具有相同电位。要注意,即使当实现电连接的一个或多个元件(例如,开关、晶体管、电容器、电感器、电阻器、或二极管)被插入布线时,连接至(诸)元件的与A相对侧上的端子的布线上的一部分被视作“连接至A的节点”,只要该部分与A具有相同电位。(实施例1)在本实施例中,将参考图1和图2来描述基准电压生成电路的启动电路的配置和操作,其包括相组合的晶体管和电容器,该晶体管在半导体层中包含氧化物半导体。电路配置示例图1是示出本实施例的启动电路、连接至启动电路的基准电压生成电路、以及连接至基准电压生成电路的输出部的负载电路之间的连接的框图。基准电压生成电路102具有连接至功率输入部VDD和启动电路101的两个输入部、以及连接至负载电路103的输出部。基准电压V_ref出现在基准电压生产电路的输出部处。作为基准电压生成电路102,可使用用于生成基准电压的各种电路;例如,利用晶体管阈值电压的基于阈值电压的基准电压生成电路、从基于阈值电压的基准电压生成电路发展而来的β倍增自偏压基准电压生成电路、基于带隙的基准电压生成电路等。负载电路103连接至基准电压生成电路102的输出部,且通过利用从基准电压生成电路102输出的基准电压来操作。只要使用利用基准电压的电路,对于负载电路没有特殊限制。负载电路103的示例包括放大器电路、电源电路、运算电路等。启动电路101包括控制电路115、晶体管111、以及电容器113。晶体管111的栅极连接至控制电路115、晶体管111的第一电极连接至电容器113的第一电极、晶体管111的第二电极连接至基准电压生成电路102的输入部。电容器113的第二电极连接至接地电压输入部GND。控制电路115可通过向晶体管111的栅极传输控制信号来控制晶体管111的导通/截止状态。在晶体管111导通的情况下,例如,电源电压Vdd可输入至晶体管111的栅极。在晶体管111截止的情况下,例如,接地电压V_gnd可输入至晶体管111的栅极。控制电路115的输出电压不限于以上的电压,且可输出允许完全地使晶体管111导通或截止的任何电压。在本实施例中,对于控制电路的输出而言,输出V_dd以使晶体管111导通,而输出接地电压V_gnd以使晶体管111截止。晶体管111的第一电极和电容器113的第一电极彼此连接的节点被称作存储节点(fn),且晶体管111的第二电极和基准电压生成电路102的输入部彼此连接的节点被称作输入节点(in)。控制电路115和晶体管111的栅极彼此连接的节点被称作控制节点(cn)。在此,当向晶体管111的栅极输入充分高的电压,且确保晶体管的线性操作时,存储节点(fn)和输入节点(in)的电压可相同。此后,当晶体管111完全地截止时,存储节点(fn)保持与晶体管111截止前的电压相同的电压。晶体管111可以是n沟道晶体管,在形成沟道的半导体层中包含氧化物半导体。通过以下实施例中描述的适当工艺使用适当材料制造的、在半导体层中包含氧化物半导体的晶体管可在截止状态下具有极低漏电流。通过将这种晶体管用作晶体管111,可减小归因于晶体管漏电流的电压降的影响,且可长时间保持存储节点(fn)的电压。在包含氧化物半导体的晶体管中,源-漏电压为3.0V且在操作温度(例如,25°C)下,截止状态中的源极与漏极之间的每微米沟道宽度的漏电流密度(截止状态电流密度)可为10zA/μm(1×10^-20A/μm)或更低、1zA/μm(1×10^-21A/μm)或更低、或者100yA/μm(1×10^-22A/μm)或更低。电路操作示例接着,将参考图2的时序图来描述图1中的启动电路101和基准电压生成电路102的操作。图2是示出图1所示电路中的功率输入部VDD、控制节点(cn)、存储节点(fn)以及输入节点(in)的电压的时序图。在图2中,垂直轴表示电压,而水平轴表示时间。在本实施例中,将描述以下情形中的操作:在图2所示的时刻T(1)前,基准电压生成电路102在稳定平衡状态中操作,在时刻T(2)停止供电,然后在时刻T(3)再次输入功率。在图2的时刻T(1)前的状态中,即,当基准电压生成电路102在稳定平衡状态中操作时,功率输入部VDD的电压和控制节点(cn)的从控制电路115供应的电压都为电源电压V_dd。由于基准电压生成电路102在稳定平衡状态中操作,输入节点(in)的电压维持在V_sta,V_sta是稳定平衡状态中的电压。此外,因为控制节点(cn)的电压是V_dd,晶体管111导通从而导电,以使存储节点(fn)具有与输入节点(in)相同的电压,即存储节点(fn)的电压为V_sta。在此,V_dd与V_sta之差显著比晶体管111的阈值电压高。换言之,晶体管111在线性区中操作,且晶体管111的阈值电压的影响是可忽略的。首先,在停止供电的时刻T(2)之前的时刻T(1),控制节点(cn)的电压被设置为接地电压V_gnd。相应地,晶体管111截止。在此,存储节点(fn)仍保持V_sta。要注意,如图2所示,由于晶体管111的栅极电容的影响,存储节点(fn)中保持的电压可低于V_sta。接着,在时刻T(2),停止供电。此时,功率输入部VDD的电压从电源电压V_dd下降到接地电压V_gnd。当停止从功率输入部VDD供电时,基准电压生成电路102停止操作,且电路的内部电压下降。相应地,输入接地(in)的电压降至接地电压V_gnd。另一方面,对于存储节点(fn)而言,存储节点(fn)的电压不下降,且保持几乎不变,这是因为晶体管111处于截止状态,且处于截止状态的晶体管111的漏电流极低。在此,从时刻T(2)到时刻T(3)的周期对应于不供电期间的周期。在该周期期间,启动电路101和基准电压生成电路102的电源被停用。但是,存储节点(fn)中保持的电压长时间维持在几乎恒定的电平而不下降。此后,在时刻T(3),再次输入功率,且功率输入部VDD的电压升高至V_dd。当电源电压升高至控制电路115可运作的电压时,控制电路115向晶体管111的栅极输出V_dd作为输出电压,以使晶体管111导通。当晶体管111导通时,电流从处于较高电压的存储节点(fn)流向输入节点(in),且输入节点(in)的电压在极短时间内即时升高至接近V_sta的电压。在此,因为输入至输入节点(in)的初始电压与处于输入状态中的输入节点(in)的电压V_sta之差变得更小,启动时间变得更短,启动时间是向基准电压生成电路102输入功率至基准电压生成电路102达到稳定平衡状态时的周期。因此,通过使用如上所述的存储节点(fn)中保持的电压来将输入节点(in)的电压即时升高至V_sta,基准电压生成电路102的启动时间可变得极短。要注意,紧跟着晶体管111在时刻T(3)导通后的输入节点(in)的电压按照电容器113的电容和负载电容之间的关系来确定,负载电容是基准电压生成电路102的电容和连接至基准电压生成电路的输出部的负载电路的电容之和。如图2所示,在相对于电容器113的电容而言负载电容不可忽略的情况下,输入节点in的电压和存储节点fn的电压比在晶体管111导通以获得存储节点fn和输入节点in之间的导电的时刻在存储节点fn中保持的电压低。例如,在电容器13的电容比负载电容显著高的情况下,输入节点(in)的电压在T(3)时刻升高至与保持在存储节点(fn)中的电压基本相等的电压。当电容器113的电容至少比负载电容高时,输入节点(in)可具有接近V_sta的一半的电压;因此,基准电压生成电路102的启动时间可充分地短。要注意,本发明的一个实施例不限于在本实施例中描述的电路配置。例如,可向本实施例中描述的电路添加开关、电阻器、电容器、晶体管、逻辑电路等。在本实施例中启动电路和基准电压生成电路直接相互连接;但是本发明的一个实施例不限于此。只要基准电压生成电路的输入节点和启动电路中的存储节点之间的电连接是可行的,就可在启动电路和基准电压生成电路之间连接附加电路或元件。例如,可在它们之间连接晶体管、模拟开关、反馈运算放大器、双向缓冲电路等。本实施例中描述的基准电压生成电路的启动电路包括电容器与在截止状态中具有极低漏电流的晶体管,由此即使在不供电时,也可在存储节点中保持基准电压生成电路的处于稳定平衡状态的输入节点电压,且当再次输入功率时,可向输入节点即时输出接近稳定平衡状态中的电压的电压。因此,基准电压生成电路的启动时间可极短。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。(实施例2)在本实施例中,将参考图3和图4来描述具有不同于实施例1所描述配置的基准电压生成电路的启动电路的配置及操作。电路配置示例图3是示出负载电路和与本实施例的启动电路连接的基准电压生成电路之间的连接的框图,本实施例的启动电路的配置与实施例1中描述的配置不同。在实施例1中描述的基准电压生成电路102中,其输入部连接至功率输入部VDD。另一方面,基准电压生成电路202通过启动电路201中的控制电路215连接至功率输入部VDD。要注意,作为可用作基准电压生成电路202的电路,可适当地使用在实施例1中给出的基准电压生成电路的任一个。作为负载电路203,与实施例1一样,可适当地使用利用从基准电压生成电路202输出的基准电压V_ref来驱动的电路。除了启动电路201包括不同于实施例1中描述的控制电路115的控制电路215之外,启动电路201与启动电路101的配置是相同的。控制电路215连接至功率输入部VDD并控制晶体管211和基准电压生成电路202两者。作为晶体管211的控制信号,可使用与实施例1中描述的控制电路115的控制信号相似的控制信号。另外,控制电路215可通过输出对应于基准电压生成电路202的电源电压的控制信号来控制基准电压生成电路202的操作/非操作状态。例如,为了在向功率输入部VDD输入电源电压V_dd时可阻止基准电压生成电路202工作,向基准电压生成电路202输入接地电压V_gnd作为控制信号;为了使基准电压生成电路202操作,输出电源电压V_dd。在此,连接在控制电路215和晶体管211之间的节点被称作控制节点(cn1)、且连接在控制电路215和基准电压生成电路202之间的节点被称作控制节点(cn2)。在启动电路201具有的配置中,即使在输入功率后,也可在不需要时停止向基准电压生成电路202供电。换言之,启动电路201可控制向基准电压生成电路202输入的功率。在具有这种配置的启动电路201中,基准电压生成电路202可在低功率下操作。电路操作示例接着,将参考图4的时序图来描述启动电路201和基准电压生成电路202的操作。图4是示出图3所示电路中的功率输入部VDD、两个控制节点(控制节点(cn1)和控制节点(cn2))、存储节点(fn)以及输入节点(in)的电压的时序图。在图4中,垂直轴表示电压,而水平轴表示时间。在本实施例中,将描述以下情形中的操作:在图4所示的时刻T(1)前,基准电压生成电路202在稳定平衡状态中操作,在图4所示时刻T(2)停止供电,然后在时刻T(3)再次输入功率。在图4的时刻T(1)前的状态中,即,当基准电压生成电路202在稳定平衡状态中操作时,功率输入部VDD的电压与两个控制节点(cn1)和(cn2)的电压都为电源电压V_dd。由于基准电压生成电路202在稳定平衡状态中操作,因此输入节点(in)的电压稳定在V_sta。存储节点(fn)的电压也是V_sta,因为晶体管211处于导通状态。在此,V_dd和V_sta之差显著大于晶体管211的阈值电压,与实施例1一样,确保了晶体管211在线性区中工作,且晶体管211的阈值电压的影响是可忽略的。在与实施例1中描述的方式相似的方式中,为了在停止供电的时刻T(2)之前的时刻T(1)使晶体管211截止,控制节点(cn1)的电压设置为接地电压V_gnd。相应地,在存储节点(fn)中保持接近V_sta的电压。此后,在时刻T(2),停止供电;同时,控制电路215至基准电压生成电路202的输出电压降低,以使控制节点(cn2)的电压从电源电压V_dd降至接地电压V_gnd。与此同时,晶体管211仍处在漏电流极低的截止状态,且因此,存储节点(fn)的电压长时间地保持而不降低。在此,从时刻T(2)到时刻T(3)的周期是不供电的期间。接着,在时刻T(3),再次供电。功率输入部VDD的电压升高至电源电压V_dd。此时,不从控制电路215向基准电压生成电路202供应电压,且控制节点(cn2)的电压仍为接地电压V_gnd。此外,也不从控制电路215向晶体管211供应电压,因此,晶体管211仍处于截止状态,且维持了在存储节点(fn)中保持的电压。相应地,在从时刻T(3)至时刻T(4)的周期中,即使在输入功率后也可阻止基准电压生成电路202工作,且因此可抑制不必要的功耗。在时刻T(4),为了启动基准电压生成电路202,控制电路215向晶体管211和基准电压生成电路202输出电源电压V_dd。因为已输入了功率,控制节点(cn1)的电压和控制节点(cn2)的电压即时升高至电源电压V_dd。当控制节点(cn1)的电压变为V_dd时,晶体管211导通,以使输入节点(in)的电压通过保持在存储节点(fn)中的电压即时升高,且然后在极短时间内升高至V_sta。因此,基准电压生成电路202可进入稳定平衡状态。要注意,本发明的一个实施例不限于在本实施例中描述的电路配置。例如,可向本实施例中描述的电路添加开关、电阻器、电容器、晶体管、逻辑电路等。在本实施例中启动电路和基准电压生成电路直接相互连接;但是本发明的一个实施例不限于此。只要基准电压生成电路的输入节点和启动电路中的存储节点之间的电连接是可行的,就可在启动电路和基准电压生成电路之间连接附加电路或元件。例如,可在它们之间连接晶体管、模拟开关、反馈运算放大器、双向缓冲电路等。本实施例中描述的基准电压生成电路的启动电路包括电容器213与在截止状态中具有极低漏电流的晶体管211,由此即使在不供电时,基准电压生成电路的处于稳定平衡状态的输入节点的电压也可保持在存储节点中,且当基准电压生成电路被启动时,可向输入节点即时输出接近稳定平衡状态中的电压的电压。因此,基准电压生成电路的启动时间可极短。此外,向基准电压生成电路供电可通过启动电路中的控制电路来控制,且在不需要时可停用基准电压生成电路;相应地,可抑制不必要的功耗,且可实现用低功率驱动的基准电压生成电路。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。(实施例3)在本实施例中,将参考图5来描述将β倍增自偏压基准电压生成电路用作基准电压生成电路的配置示例。配置示例图5是与本实施例的启动电路连接的基准电压生成电路的电路图。基准电压生成电路302是与图8所示基准电压生成电路502相似的电路。基准电压生成电路302包括:晶体管321、晶体管322、晶体管323、晶体管324、以及电阻器325。尽管此处使用的附图标记与图8中的不同,但晶体管和电阻器之间的连接与基准电压生成电路502中的相似。在此,连接至晶体管321的栅极和晶体管322的栅极的节点被称作输入节点(in1),而连接至晶体管323的栅极和晶体管324的栅极的节点被称作输入节点(in2)。要注意,输入节点(in2)对应于连接至输出端子OUT的节点。启动电路301包括控制电路315、两个晶体管(晶体管311a和晶体管311b)、以及两个电容器(电容器313a和电容器313b)。作为各晶体管311a和晶体管311b,可使用在形成沟道的半导体层中包含氧化物半导体的n沟道晶体管,与以上实施例中描述的用作启动电路的晶体管的情形一样。通过使用这种晶体管,截止状态中的漏电流可变得极低,可减小归因于晶体管漏电流的电压降低的影响,且可长时间保持连接至晶体管的存储节点的电压。晶体管311a的栅极和晶体管311b的栅极连接至控制电路315,且它们的导通/截止状态由控制电路315来控制。电容器313a的第一电极连接至晶体管311a的第一电极,而电容器313b的第一电极连接至晶体管311b的第一电极。电容器313a的第二电极和电容器313b的第二电极连接至接地电压输入部GND。在此,晶体管311a和电容器313a之间的节点被称作存储节点(fn1),而晶体管311b和电容器313b之间的节点被称作存储节点(fn2)。通过使晶体管截止,可在存储节点中保持不同电压。晶体管311a的第二电极连接至输入电极(in1),晶体管311b的第二电极连接至输入电极(in2),由此启动电路301和基准电压生成电路302彼此电连接。在该配置中,负载电容器331连接至基准电压生成电路302的输出部作为输出负载;但是,使用基准电压来工作的任何电路可被连接至基准电压生成电路302的输出部。电路操作示例当基准电压生成电路302在稳定平衡状态中操作时,输入节点(in1)的电压和输入节点(in2)的电压分别为电压V_sta1和电压V_sta2,电压V_sta1和电压V_sta2是稳定平衡状态中的节点电压。此时,控制电路315例如向晶体管311a和晶体管311b的栅极输出电源电压V_dd以使它们导通。当停止供电的情况下,控制电路315例如向晶体管311a和晶体管311b输出接地电压V_gnd以在停止供电前使它们截止。此时,在存储节点(fn1)中保持与稳定平衡状态中输入节点(in1)的电压V_sta1接近的电压;类似地,在存储节点(fn2)中保持与稳定平衡状态中输入节点(in2)的电压V_sta2接近的电压。当停止供电时,基准电压生成电路302被停用,且该电路中的晶体管全部截止,因此没有电流流动。启动电路中的晶体管311a和晶体管311b仍处于截止状态;因此,存储节点(fn1)的电压和存储节点(fn2)的电压得以保持而不降低。再次输入功率时,控制电路315例如向晶体管311a和晶体管311b的栅极输出电源电压V_dd以使它们导通。当晶体管311a导通时,电流在输入节点(in1)和存储节点(fn1)之间流动,以使输入节点(in1)的电压即时变化成与稳定平衡状态中输入节点(in1)的电压V_sta1接近的电压。同样地,当晶体管311b导通时,输入节点(in2)的电压由保持在存储节点(fn2)中的电压即时改变至接近V_sta2的电压。因此,在包括两个存储节点的启动电路301中,当输入功率时,基准电压生成电路302中的两个节点的电压可同时即时变化至与稳定平衡状态中的电压电平接近的电平。相应地,与启动电路连接至任一输入节点的情形相比,可有效地缩短基准电压生成电路302的启动时间。变体将参考图6来描述以上启动电路301的变体。除了用控制电路365来替代控制电路315并添加了晶体管367之外,图6所示启动电路351具有与启动电路301相同的配置。晶体管367的栅极连接至控制电路365,晶体管367的第一电极连接至功率输入部VDD,且晶体管367的第二电极连接至基准电压生成电路302中的晶体管321的第一电极和晶体管322的第一电极。通过将p沟道晶体管用作晶体管367,可向基准电压生成电路302输入电源电压V_dd而没有归因于晶体管的电压降的影响。与控制电路315的情形一样,控制电路365连接至晶体管311a和晶体管311b的栅极,并控制这些晶体管的导通/截止状态。此外,控制电路365具有通过向晶体管367的栅极传输控制信号来控制晶体管367的导通/截止状态的功能。在这种配置中,可控制向基准电压生成电路302供电,且可控制基准电压生成电路302的工作/非工作状态。例如,当向处于供电状态的晶体管367的栅极输出诸如接地电压V_gnd的允许晶体管367导通的电压时,电源电压V_dd可被输入至基准电压生成电路302。当向处于供电状态的晶体管367的栅极输出诸如电源电压V_dd的允许晶体管367截止的电压时,电源电压不被输入至基准电压生成电路302,且因此可阻止基准电压生成电路302工作。相应地,向基准电压生成电路302供电可由启动电路中的控制电路来控制,且在不需要时可停用基准电压生成电路;相应地,可抑制不必要的功耗,且可实现用低功率驱动的基准电压生成电路。要注意,在本实施例中描述了启动电路包括两个存储节点的配置;取决于连接至启动电路的基准电压生成电路的配置,该启动电路可包括任何数目(至少一个)的存储节点。例如,在启动电路包括三个存储节点的情形下,可采用设置有栅极彼此连接的三个晶体管和连接至晶体管的电容器的配置。或者,启动电路可包括一个存储节点,该存储节点仅连接至基准电压生成电路中的一个节点。在这种配置中,可减小启动电路所占面积。要注意,本发明的一个实施例不限于在本实施例中描述的电路配置。例如,可向本实施例中描述的电路添加开关、电阻器、电容器、晶体管、逻辑电路等。在本实施例中启动电路和基准电压生成电路直接相互连接;但是本发明的一个实施例不限于此。只要基准电压生成电路的输入节点和启动电路中的存储节点之间的电连接是可行的,就可在启动电路和基准电压生成电路之间连接附加电路或元件。例如,可在它们之间连接晶体管、模拟开关、反馈运算放大器、双向缓冲电路等。本实施例中描述的基准电压生成电路的启动电路包括电容器与在截止状态中具有极低漏电流的晶体管,由此即使在不供电时,基准电压生成电路的处于稳定平衡状态的输入节点的电压也可保持在存储节点中,且再次输入功率时,可向输入节点即时输出与稳定平衡状态中的电压接近的电压。因此,基准电压生成电路的启动时间可极短。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。(实施例4)在本实施例中,将参考图7来描述将基于带隙的基准电压生成电路用作基准电压生成电路的配置示例。图7是示出与根据本发明的一个实施例的启动电路连接的基于带隙的基准电压生成电路的配置的电路图。启动电路401包括控制电路415、晶体管411、电容器413,且电压可保持在晶体管411和电容器413之间的存储节点(fn)中。由连接至晶体管411的栅极的控制电路415来控制晶体管411。作为晶体管411,与以上实施例一样,可使用在形成有沟道的半导体层中包含氧化物半导体的n沟道晶体管。通过使用这种晶体管,截止状态中的漏电流可变得极低,可减小归因于晶体管411的漏电流的电压降的影响,且可长时间保持连接至晶体管411的存储节点(fn)的电压。基准电压生成电路402是基于带隙的基准电压生成电路中的一种,且包括三个电阻器(电阻器421、电阻器422、及电阻器423)、两个二极管(二极管424和二极管425)、以及运算放大器426。电阻器421的第一电极连接至电阻器422的第一电极和运算放大器426的输出端子,而电阻器421的第二电极连接至运算放大器426的正输入端子和二极管424的第一电极。电阻器422的第二电极连接至运算放大器426的负输入端子和电阻器423的第一电极。电阻器423的第二电极连接至二极管425的第一电极。二极管424的第二电极和二极管425的第二电极连接至接地电压输入部GND。运算放大器426的两个电源端子中的一个连接至功率输入部VDD,而另一个连接至接地电压输入部GND。要注意,连接至电阻器421和电阻器422的第一电极以及运算放大器426的输出端子的节点被称作输入节点(in)。当输入功率时,基准电压生成电路402工作,以使连接至运算放大器426的正输入端子的节点电压与连接至运算放大器426的负输入端子的节点电压之差变为零。因此,稳定平衡状态中的基准电压生成电路402的输出电压根据输入至运算放大器426的两个电源端子的电压之差、三个电阻器的电阻之间的关系、以及两个二极管的电流-电压特性来确定。启动电路401中的晶体管411的第一电极连接至基准电压生成电路402的输入节点(in),由此启动电路401和基准电压生成电路402相互电连接。在该配置中,负载电容器431连接至基准电压生成电路402的输出部作为输出负载;但是,可使用基准电压生成电路402的输出电压来工作的任何电路可被连接至基准电压生成电路402的输出部。在启动电路401中,与上述实施例一样,通过用控制电路415控制晶体管411,即使在不供电时,也可在存储节点(fn)中保持与基准电压生成电路402在稳定平衡状态下操作的情形下的输入节点(in)的电压接近的电压。此外,通过在再次输入功率时使晶体管411导通,基准电压生成电路402中的输入节点(in)的电压可即时变化至与稳定平衡状态中的电压接近的电压。因此,基准电压生成电路402的启动时间可变得极短。要注意,在本实施例中启动电路401中的控制电路仅控制晶体管411;但是,作为变体,控制电路可控制向基准电压生成电路402供应电源电压,如实施例3所示。例如,可将p沟道晶体管串联连接至运算放大器426的连接至输入部VDD的节点,且该晶体管可由启动电路中的控制电路来控制。使用这种配置,向基准电压生成电路供电可由启动电路中的控制电路来控制,且在不需要时可停用基准电压生成电路;相应地,可抑制不必要的功耗,且可实现用低功率驱动的基准电压生成电路。要注意,在本实施例中描述了启动电路包括一个存储节点的配置;取决于连接至启动电路的基准电压生成电路的配置,该启动电路可包括任何数目(至少一个)的存储节点。例如,在启动电路包括三个存储节点的情形下,可采用提供栅极彼此连接的三个晶体管和连接至晶体管的电容器的配置。要注意,本发明的一个实施例不限于在本实施例中描述的电路配置。例如,可向本实施例中描述的电路添加开关、电阻器、电容器、晶体管、逻辑电路等。在本实施例中启动电路和基准电压生成电路直接相互连接;但是本发明的一个实施例不限于此。只要基准电压生成电路的输入节点和启动电路中的存储节点之间的电连接是可行的,就可在启动电路和基准电压生成电路之间连接附加电路或元件。例如,可在它们之间连接晶体管、模拟开关、反馈操作放大器、双向缓冲电路等。本实施例中描述的基准电压生成电路的启动电路包括电容器与在截止状态中具有极低漏电流的晶体管,由此即使在不供电时,基准电压生成电路的处于稳定平衡状态的输入节点的电压也可保持在存储节点中,且再次输入功率时,可向输入节点即时输出与稳定平衡状态中的电压接近的电压。因此,基准电压生成电路的启动时间可极短。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。(实施例5)在本实施例中,将参考图9A-9E来描述用于实施例1-4的任一启动电路的在形成有沟道的半导体层中包含氧化物半导体的晶体管结构示例以及制造该晶体管的方法示例。图9A-9E示出晶体管截面结构的示例。图9D中的晶体管610是具有底栅结构的倒交错晶体管。本实施例中用于半导体层的氧化物半导体是i型(本征)氧化物半导体或大致为i型(本征)的氧化物半导体,它们是通过从氧化物半导体移除是n型杂质的氢来高度提纯的,以使其包含尽可能少的杂质。要注意,高度提纯的氧化物半导体包括极少载流子,且载流子浓度低于1×10¹⁴/cm³、低于1×10¹²/cm³、或低于1×10¹¹/cm³。这种极少载流子使得截止状态中的电流(截止状态电流)能充分地低。具体地,在包含氧化物半导体层的晶体管中,源-漏电压为3.0V且在操作温度(例如,25μC)下,截止状态中的源极与漏极之间的每微米沟道宽度的漏电流密度(截止状态电流密度)可为10zA/×m(1-10μ^-20A/μm)或更低、1zA/×m(1-10μ^-21A/μm)或更低、或者100yA/×m(1-10μ^-22A/μm)或更低。在包含高度提纯的氧化物半导体层的晶体管610中,几乎观察不到导通状态电流对温度的依赖性,且在高温下截止状态电流仍极低。下文中将参考图9A-9E来描述在衬底600上制造晶体管610的工艺。首先,在具有绝缘表面的衬底600上形成导电膜。然后,在第一光刻步骤中形成栅电极层601。要注意,可通过喷墨法形成抗蚀剂掩模。通过喷墨法形成抗蚀剂掩模不需要光掩模;因此可降低制造成本。只要衬底600具有绝缘表面,对衬底600就没有具体限制;在后续步骤中进行热处理的情形下,衬底600需要至少具有足以耐受热处理温度的耐热性。例如,可使用由钡硼硅酸盐玻璃、铝硼硅酸盐玻璃等制成的玻璃衬底,石英衬底,蓝宝石衬底,陶瓷衬底等。替代地,可使用包含不锈钢的金属衬底或具有形成在其表面上的绝缘膜的半导体衬底。使用诸如塑料的合成树脂形成的柔性衬底通常具有比以上衬底低的温度上限;然而,只要这种衬底能够耐受制造步工艺中的处理温度就可使用这种衬底。要注意,衬底600的表面可通过使用CMP法等抛光来进行平坦化。在本实施例中,作为具有绝缘表面的衬底600,使用玻璃衬底。可在衬底600与栅电极层601之间设置用作基底的绝缘层。该绝缘层具有防止杂质元素从衬底600扩散的功能,而且该绝缘层可形成为具有使用选自氮化硅膜、氧化硅膜、氮氧化硅膜以及氧氮化硅膜等的一种或多种膜的单层或叠层结构。栅电极层601可形成为具有使用诸如钼、钛、铬、钽、钨、钕、或钪的金属,或包含这些材料中的任一种作为其主要组分的任何合金的单层或叠层结构。要注意,只要铝或铜能够耐受后续步骤中的热处理温度,也可将铝或铜用作这种金属。铝或铜优选与高熔点金属组合,以便避免耐热问题和腐蚀问题。作为高熔点金属,可使用钼、钛、铬、钽、钨、钕、钪等。接着,在栅电极层601之上形成栅绝缘层602。栅绝缘层602可通过等离子体CVD法、溅射法等形成。栅绝缘层602可形成为具有使用选自氧化硅膜、氮化硅膜、氧氮化硅膜、氮氧化硅膜、氧化铝膜、氮化铝膜、氧氮化铝膜、氮氧化铝膜、氧化铪膜、氧化钽膜、氧化镓膜等的一种或多种膜的单层或叠层结构。对于本实施例中的氧化物半导体层,使用通过移除杂质形成作为i型或大致i型的氧化物半导体(高度提纯的氧化物半导体)的氧化物半导体。这种高度提纯的氧化物半导体对界面状态和界面电荷高度敏感;因此,氧化物半导体层与栅绝缘层之间的界面具有重要性。出于该原因,与高度提纯氧化物半导体接触的栅绝缘层需具有高质量。例如,使用微波(例如具有2.45GHz的频率)的高密度等离子体CVD是优选的,因为可形成具有高耐压性的致密的高质量绝缘层。高度提纯的氧化物半导体和高质量的栅绝缘层彼此接触,由此界面状态的数量可减少,从而获得有利的界面特性。不言而喻,只要使用的方法能够形成作为栅绝缘层的高质量绝缘层,就可采用诸如溅射法、或等离子体CVD法的其它成膜方法。此外,绝缘层的膜质量以及与氧化物半导体的界面特性通过绝缘层形成后执行的热处理得到改善的绝缘层可被形成为栅绝缘层。在任何情况下,只要膜质量与栅绝缘层的质量一样高、可减小与氧化物半导体的界面状态密度、以及可形成有利界面,就可使用任何栅绝缘层。栅绝缘层602与稍后形成的氧化物半导体层接触。当氢包含在氧化物半导体中时,晶体管特性受到不利影响;因此,优选栅绝缘层602不包含氢气、羟基、和水分。为了在栅绝缘层602和氧化物半导体膜中包含尽可能少的氢气、羟基、和水分,优选在溅射装置的预热腔中对衬底600进行预热作为氧化物半导体膜形成的预处理,以使吸收到衬底600中的诸如氢气或水分的杂质被移除,衬底600上形成有栅电极层601或者形成有直到(包含)栅绝缘层602的组件。预热温度高于或等于100°C且低于或等于400°C,优选高于或等于150°C且低于或等于300°C。作为设置在预热腔中的排气单元,优选有低温泵。要注意,可省略该预热处理。此外,在形成绝缘层607前,可用类似方式对衬底600进行预热,其中在该衬底600上形成有直到(包含)源电极层605a和漏电极层605b的组件。接着,在栅绝缘层602上形成厚度大于或等于2nm且小于或等于200nm,优选大于或等于5nm且小于或等于30nm的氧化物半导体膜603(参见图9A)。氧化物半导体膜603通过将氧化物半导体用作靶的溅射法来形成。可在稀有气体(例如氩气)气氛、氧气气氛、或稀有气体(例如氩气)和氧气的混合气氛下通过溅射法来形成氧化物半导体膜603。要注意,在通过溅射法形成氧化物半导体膜603之前,优选通过其中引入氩气并产生等离子体的反溅射去除粘附在栅绝缘层602的表面上的粉末物质(还称作颗粒或灰尘)。反溅射是指RF电源用于向氩气气氛中的衬底施加电压,并在衬底附近产生等离子体来修整表面的方法。要注意,可使用氮气气氛、氦气气氛、氧气气氛等来替代氩气气氛。用于氧化物半导体膜603的氧化物半导体优选至少包含铟(In)或锌(Zn)。具体而言,优选包含In和Zn。作为用于减少包含氧化物半导体的晶体管的电特性的变化的稳定剂,优选另外包含镓(Ga)。优选包含锡(Sn)作为稳定剂。优选包含铪(Hf)作为稳定剂。优选包含铝(Al)作为稳定剂。作为另一种稳定剂,可包含一种或多种镧系元素,诸如,镧(La)、铈(Ce)、镨(Pr)、钕(Nd)、钐(Sm)、铕(Eu)、钆(Gd)、铽(Tb)、镝(Dy)、钬(Ho)、铒(Er)、铥(Tm)、镱(Yb)、或镥(Lu)。作为氧化物半导体(例如,氧化铟、氧化锡、氧化锌),可使用具有两组分的金属氧化物(诸如,基于In-Zn的氧化物、基于Sn-Zn的氧化物、基于Al-Zn的氧化物、基于Zn-Mg的氧化物、基于Sn-Mg的氧化物、基于In-Mg的氧化物、或基于In-Ga的氧化物),具有三组分的金属氧化物(诸如,基于In-Ga-Zn的氧化物(还称作IGZO)、基于In-Al-Zn的氧化物、基于In-Sn-Zn的氧化物、基于Sn-Ga-Zn的氧化物、基于Al-Ga-Zn的氧化物、基于Sn-Al-Zn的氧化物、基于In-Hf-Zn的氧化物、基于In-La-Zn的氧化物、基于In-Ce-Zn的氧化物、基于In-Pr-Zn的氧化物、基于In-Nd-Zn的氧化物、基于In-Sm-Zn的氧化物、基于In-Eu-Zn的氧化物、基于In-Gd-Zn的氧化物、基于In-Tb-Zn的氧化物、基于In-Dy-Zn的氧化物、基于In-Ho-Zn的氧化物、基于In-Er-Zn的氧化物、基于In-Tm-Zn的氧化物、基于In-Yb-Zn的氧化物、或基于In-Lu-Zn的氧化物),或具有四组分的金属氧化物(诸如,基于In-Sn-Ga-Zn的氧化物、基于In-Hf-Ga-Zn的氧化物、基于In-Al-Ga-Zn的氧化物、基于In-Sn-Al-Zn的氧化物、基于In-Sn-Hf-Zn的氧化物、或基于In-Hf-Al-Zn的氧化物)。此处要注意,例如,“基于In-Ga-Zn的氧化物”意味着包含In、Ga和Zn作为主要成分的氧化物,并且对In、Ga和Zn的比率没有具体限制。基于In-Ga-Zn的氧化物可包含除In、Ga和Zn之外的金属元素。替代地,由InMO₃(ZnO)_m(m>0,且m不是整数)表达的材料可被用作氧化物半导体。要注意,M表示选自Ga、Fe、Mn和Co的一种或多种金属元素。替代地,由In₃SnO₅(ZnO)_n(n>0,且n是整数)表达的材料可被用作氧化物半导体。举例而言,可使用原子比为In∶Ga∶Zn=1∶1∶1(=1/3∶1/3∶1/3)或In∶Ga∶Zn=2∶2∶1(=2/5∶2/5∶1/5)的基于In-Ga-Zn的氧化物,或者其组分接近以上组分的任何氧化物。另选地,可使用原子比为In∶Sn∶Zn=1∶1∶1(=1/3∶1/3∶1/3)、In∶Sn∶Zn=2∶1∶3(=1/3∶1/6∶1/2)、或In∶Sn∶Zn=2∶1∶5(=1/4∶1/8∶5/8)的基于In-Sn-Zn的氧化物,或者其组分接近以上组分的任何氧化物。然而,组分不限于以上描述的那些,并且可根据必要的半导体特性(诸如迁移率、阈值电压、变化等)来使用具有适当组分的材料。为了获得必要的半导体特性,优选适当地设置载流子浓度、杂质浓度、缺陷密度、金属元素比氧气的原子比、原子间的距离、密度等。举例而言,可用基于In-Sn-Zn的氧化物相对容易地获得高迁移率。但是,在使用基于In-Ga-Zn氧化物的情形下,通过减小批量缺陷密度也可提高迁移率。要注意,举例而言,表达“包含原子比为In∶Ga∶Zn=a∶b∶c(a+b+c=1)的In、Ga和Zn的氧化物的组分接近包含原子比为In∶Ga∶Zn=A∶B∶C(A+B+C=1)的In、Ga和Zn的氧化物的组分”意味着a、b和c满足以下关系:(a-A)²+(b-B)²+(c-C)²≤r²,且例如r可为0.05。相同的表达可应用于其他氧化物。氧化物半导体可以是单晶体或者是非单晶体。在后者的情况下,氧化物半导体可以是非晶体或者是多晶体。此外,半导体氧化物可具有包括具有结晶度的部分的非晶结构、或具有非非晶结构。在非晶状态中的氧化物半导体中,可相对容易地获得平坦表面,从而当用氧化物半导体制造晶体管时,可减少界面散布,且可相对容易地获得相对高的迁移率。此外,氧化物靶的填充率高于或等于90%且低于或等于100%,优选高于或等于95%且低于或等于99.9%。在使用具有高填充率的金属氧化物靶的情况下,可形成致密氧化物半导体膜。优选将去除了诸如氢气、水、具有羟基的化合物、或氢化物的杂质的高纯度提纯气体用作用于形成氧化物半导体膜603的溅射气体。衬底支持在保持于减小压力下的沉积腔中,且衬底温度被设置成高于或等于100°C且低于或等于600°C,优选高于或等于200°C且低于或等于400°C。通过在衬底被加热的状态下形成氧化物半导体膜,可减少所形成氧化物半导体中包含的杂质浓度。此外,可减少由溅射造成的破坏。可用以下方式在衬底600上形成氧化物半导体膜603:在去除沉积腔中残留的水分的同时向沉积腔引入去除了氢气和水分的溅射气体,且使用如上的靶。为了去除残留在沉积腔中的水分,优选使用诸如低温泵截留真空泵、离子泵、或钛升华泵。排气单元可以是设置有冷槽的涡轮泵。在用低温泵排气的沉积腔中,去除氢原子、包含氢原子的诸如水(H₂O)的化合物(优选,还有包含碳原子的化合物)等,由此可减少在沉积腔中形成的氧化物半导体膜中的杂质浓度。用于溅射法的气氛可以是稀有气体(通常是氩气)气氛、氧气气氛、或稀有气体和氧气的混合气氛等。作为沉积条件示例,衬底与靶之间的距离为100mm、压力为0.6Pa、直流(DC)功率为0.5kW、且气氛是氧气气氛(氧气流速的比例是100%)。要注意,优选使用脉冲直流电源,因为可减少在沉积中产生的粉末物质(也称作颗粒或灰尘)并且膜厚可以是均匀的。要注意,优选去除例如碱金属和碱土金属的杂质,碱金属诸如有Li或Na,而碱土金属诸如有Ca。具体地,包含在氧化物半导体膜中的该杂质的浓度优选为2×10¹⁶/cm³或更低,更优选为1×10¹⁵/cm³或更低。那些金属元素具有低负电性,且易于与氧化物半导体膜中的氧键合;因此在氧化物半导体膜中可形成载流子路径,且氧化物半导体膜可具有较低电阻(n型导电性)。接着,在第二光刻步骤中,将氧化物半导体膜603处理成岛状氧化物半导体层。可通过喷墨法形成用于形成岛状氧化物半导体层的抗蚀剂掩模。通过喷墨法形成抗蚀剂掩模不需要光掩模;因此可降低制造成本。在栅绝缘层602中形成接触孔的情况下,可在处理氧化物半导体膜603的同时进行形成接触孔的步骤。要注意,此处,氧化物半导体膜603的蚀刻可以是干法蚀刻、湿法蚀刻、或干法和湿法蚀刻两者。用于对氧化物半导体膜603进行湿法蚀刻的蚀刻剂的示例是磷酸、乙酸、和硝酸的混合溶液。此外,可使用ITO07N(由KANTO化学公司(KANTOxa0CHEMICALxa0CO.,INC.)生产)。作为用于干法蚀刻的蚀刻气体,优选使用含氯的气体(诸如氯气(Cl₂)、三氯化硼(BCl₃)、四氯化硅(SiCl₄)或四氯化碳(CCl₄)的氯基气体)。替代地,可使用含氟气体(诸如四氟化碳(CF₄)、六氟化硫(SF₆)、三氟化氮(NF₃)或三氟甲烷(CHF₃)的氟基气体)、溴化氢(HBr)、氧气(O₂)、添加了诸如氦气(He)或氩气(Ar)的稀有气体的这些气体中的任一种等。作为干法蚀刻方法,可使用平行板反应离子蚀刻(RIE)法或感应耦合等离子体(ICP)蚀刻法。为了将氧化物半导体膜蚀刻成期望形状,可适当地调节蚀刻条件(诸如向线圈状电极施加的功率的量、向衬底侧上的电极施加的功率的量、或衬底侧面上电极的温度)。接着,将岛状氧化物半导体层进行第一热处理。可通过第一热处理来对氧化物半导体层进行脱水或脱氢。第一热处理的温度高于或等于250°C且低于或等于750°C,或者高于或等于400°C且低于衬底的应变点。例如,可在500°C下进行热处理大致长于或等于3分钟且短于或等于6分钟的时间。当RTA方法用于热处理时,可在短时间内进行脱水或脱氢处理;因此,可在比玻璃衬底的应变点高的温度下进行该处理。在此,衬底被引入到作为一种热处理装置的电炉中,且在氮气气氛中在450°C下对氧化物半导体层进行1小时的热处理,然后在不将氧化物半导体层暴露于空气中的情况下冷却该衬底,从而避免水和氢气进入氧化物半导体层中。通过该方式获得氧化物半导体层604(参见图9B)。此外,热处理装置不限于电炉,且可使用对要通过来自诸如电阻加热元件的加热元件的热传导或热辐射处理的对象进行加热的装置。例如,可使用诸如气体快速热退火(GRTA)装置或灯快速热退火(LRTA)装置之类的快速热退火(RTA)装置。LRTA装置是用于对要通过从诸如卤素灯、卤化金属灯、氙弧灯、碳弧灯、高压钠灯、或高压汞灯之类的灯发射的光(电磁波)辐射来处理的对象进行加热的装置。GRTA装置是用于使用高温气体来进行热处理的装置。作为高温气体,可使用不与要通过热处理处理的对象发生反应的、诸如氮气或如氩气的稀有气体等的惰性气体。例如,作为第一热处理可执行GRTA,在GRTA中衬底移动至被加热到高达650°C-700°C的温度的惰性气体中,加热数分钟,然后从加热至高温的惰性气体中移出。要注意,在第一热处理中,优选氮气或诸如氦气、氖气或氩气等稀有气体中不包含水、氢气等。向热处理装置中引入的氮气或诸如氦气、氖气或氩气的稀有气体的纯度优选为6N(99.9999%)或更高,更优选为7N(99.99999%)或更高(即,杂质浓度优选为1ppm或更低,更优选为0.1ppm或更低)。在通过第一热处理加热该氧化物半导体层后,可向同一炉中引入高纯度氧气气体、高纯度N₂O气体或极干空气(在通过使用腔衰荡激光谱(CRDS)系统的露点仪来进行测量的情况下,水分含量小于或等于20ppm(-55°C下转换成露点),优选小于或等于1ppm,更优选小于或等于10ppb)。优选氧气和N₂O气体不包含水、氢气等。引入到热处理装置中的氧气或N₂O气体的纯度优选为6N或更高、更优选为7N或更高(即,氧气气体或N₂O气体中杂质的浓度优选为1ppm或更低、更优选为0.1ppm或更低)。通过氧气或N₂O气体的作用来供应作为氧化物半导体的主要成分、由于通过脱水或脱氢的去除杂质的步骤而减少的氧气,由此提高了氧化物半导体层的纯度并使氧化物半导体层成为电i型(本征)。也可在将氧化物半导体膜603处理成岛状氧化物半导体层之前,对氧化物半导体膜603进行氧化物半导体层的第一热处理。在该情况下,在第一热处理后从加热装置取出衬底,然后进行光刻步骤。要注意,只要第一热处理是在形成氧化物半导体层后进行的,则第一热处理可在以下定时中的任一定时进行,而对以上定时没有限制:在氧化物半导体层上形成源电极层和漏电极层后;以及在源电极层和漏电极层上形成绝缘层后。在栅绝缘层602中形成接触孔的情况下,可在对氧化物半导体膜603执行热处理之前或之后进行形成接触孔的步骤。通过以上步骤,可减少岛状氧化物半导体层中的氢浓度并可使岛状氧化物半导体层高度提纯。相应地,可使氧化物半导体层的电特性稳定。此外,可在低于或等于衬底600的玻璃转变温度的温度下通过热处理形成具有极低载流子密度和宽带隙的氧化物半导体膜。因此,可使用大尺寸衬底来制造晶体管,从而可提高生产率。此外,通过使用氢浓度减小且纯度升高的氧化物半导体,有可能制造具有高耐压性和极低截止状态电流的晶体管。可在形成氧化物半导体膜后的任一时间进行以上热处理。要注意,在对氧化物半导体膜进行加热的情况下,在一些情形下,取决于氧化物半导体膜的材料或加热条件,在氧化物半导体膜的表面上形成板状晶体。板状晶体优选为与氧化物半导体膜的表面垂直地c轴对准的单晶。要注意,当氧化物半导体膜下的栅绝缘层602的表面不均匀时,会形成多晶板状晶体。因此,氧化物半导体膜的基底表面优选尽可能平坦。即使在将氧化物、氮化物、金属等的任一种用作基底成分的材料时,作为氧化物半导体膜,具有大厚度晶体区(单晶区,即与膜表面垂直地c轴对准的晶体区)的氧化物半导体,可通过进行两次沉积和两次热处理来形成。例如,形成厚度大于或等于3nm且小于或等于15nm的第一氧化物半导体膜,然后在具有氮气、氧气、稀有气体或干空气的气氛中在高于或等于450°C且低于或等于850°C、优选高于或等于550°C且低于或等于750°C的温度下进行第一热处理,由此形成第一氧化物半导体膜,该第一氧化物半导体膜在包括表面的区域中包含晶体区(包括板状晶体)。然后,形成厚度比第一氧化物半导体膜的厚度大的第二氧化物半导体膜,且在高于或等于450°C且低于或等于850°C、优选高于或等于600°C且低于或等于700°C的温度下进行第二热处理,以使通过将第一氧化物半导体膜用作晶体成长的籽晶向上进行晶体成长,且整个第二氧化物半导体膜被结晶化。通过该方式,可形成具有大厚度晶体区的氧化物半导体膜。接着,在栅绝缘层602和氧化物半导体层604上形成要成为源电极层和漏电极层的导电膜(包括与源电极层和漏电极层形成在同一层上的布线)。作为用作源电极层和漏电极层的导电膜,例如可使用包含选自Al、Cr、Cu、Ta、Ti、Mo和W的元素的金属膜,包含任何这些元素作为成分的合金膜,包含任何这些元素作为成分的金属氮化物膜(氮化钛膜、氮化钼膜、或氮化钨膜)等。此外,为了避免耐热问题和腐蚀问题,可使用一种结构,在该结构中诸如Al或Cu的金属膜在底侧和顶侧的一个或两者上具有由诸如Ti、Mo、Cr、Ta、Nd、Sc或Y的高熔点金属形成的膜,或者具有这些金属的金属氮化物膜(氮化钛膜、氮化钼膜、或氮化钨膜)。此外,导电膜可具有单层结构或包含两层或更多层的叠层结构。举例而言,可提供:包含硅的铝膜的单层结构;在铝膜上层叠钛膜的两层结构;钛膜、铝膜和钛膜以该顺序层叠的三层结构等。替代地,可使用导电金属氧化物形成导电膜。作为导电金属氧化物,可使用氧化铟、氧化锡、氧化锌、氧化铟和氧化锡的混合氧化物、氧化铟和氧化锌的混合氧化物、或者包含硅或氧化硅的任何导电金属氧化物材料。要注意,在形成导电膜后进行热处理的情况下,该导电膜优选具有足以耐受热处理的耐热性。接着,在第三光刻步骤中,在导电膜上形成抗蚀剂掩模,且进行选择性蚀刻来形成源电极层605a和漏电极层605b,且然后移除抗蚀剂掩模(参见图9C)。可使用紫外光、KrF激光或ArF激光来执行第三光刻步骤中的形成抗蚀剂掩模时的曝光。稍后完成的晶体管的沟道长度L根据在氧化物半导体层604上彼此相邻的源电极层与漏电极层的下边缘部之间的距离来确定。在沟道长度L小于25nm的情况下,优选使用具有极短(数纳米至数十纳米)波长的紫外光来进行在第三光刻步骤中用于形成抗蚀剂掩模的曝光。在使用远紫外光的曝光中,分辨率高且聚焦深度大。因此,稍后完成的晶体管的沟道长度L可大于或等于10nm且小于或等于1000nm,从而可加快电路的工作速度。要注意,优选将蚀刻条件优化成在蚀刻导电膜时氧化物半导体层604不被蚀刻且不被分割。但是,难以获得只蚀刻导电膜而氧化物半导体层604根本不被蚀刻的条件。在一些情况下,在蚀刻导电膜时,氧化物半导体层604的一部分被蚀刻成具有槽部(凹部)的氧化物半导体层。在本实施例中,Ti膜被用作导电膜,而基于In-Ga-Zn-O的氧化物半导体被用作氧化物半导体层604;因此,将氨双氧水混合物(氨、水和过氧化氢的混合溶液)用作蚀刻剂。当氨双氧水混合物被用作蚀刻剂时,可选择性地蚀刻导电膜。接着通过使用诸如N₂O、N₂或Ar的气体的等离子体处理,去除吸收到氧化物半导体层的暴露部分的表面的水或类似物。也可使用氧气和氩气的混合气体进行等离子体处理。在进行等离子体处理的情况下,顺序地形成与部分的氧化物半导体层604接触的用作保护绝缘膜的绝缘层607而不用将衬底暴露到空气中。绝缘层607优选包含尽可能少的诸如水分、氢气的杂质,且可使用单层绝缘膜或层叠的多层绝缘膜来形成。此外,可通过适当地使用诸如溅射法的使诸如水和氢气的杂质不进入绝缘层607的方法形成具有至少1nm厚度的绝缘层607。当氢被包含在绝缘层607中时,造成氢气进入氧化物半导体层或通过氢气析取氧化物半导体的氧气,由此氧化物半导体层的背沟道可能具有较低电阻(n型导电性)且因此可形成寄生沟道。因此,采用不使用氢气以使绝缘层607尽可能不包含氢气的形成方法具有重要意义。例如,可形成具有以下结构的绝缘膜:通过溅射法形成的100nm厚的氧化铝膜层叠在由溅射法形成的200nm厚的氧化镓膜上。成膜中的衬底温度可能高于或等于室温且低于或等于300°C。此外,绝缘膜优选包括超过化学计量比的许多氧,更优选包括大于化学计量比的1倍且小于2倍的氧。这样,绝缘膜包含过量氧,以使得氧被供应到与岛状氧化物半导体层的界面;因此可减少缺氧。在本实施例中,通过溅射法形成厚度为200nm的氧化硅膜作为绝缘层607。成膜中的衬底温度可能高于或等于室温且低于或等于300°C,而在该实施例中为100°C。可在稀有气体(通常为氩气)气氛下、氧气气氛下、或稀有气体和氧气的混合气氛下通过溅射法来形成氧化物半导体膜。作为靶,可使用氧化硅靶或硅靶。例如,可在包含氧气的气氛下通过溅射法使用硅靶来形成氧化硅膜。作为形成为与氧化物半导体层接触的绝缘层607中的膜,优选使用不包含诸如水分、氢离子及OH^-基的杂质并防止这些杂质从外部进入的无机绝缘膜。通常,可使用氧化硅膜、氧氮化硅膜、氧化铝膜、氧氮化硅膜等。绝缘层607优选具有使用具有高阻挡性的材料的叠层结构。例如,氮化硅膜、氮氧化硅膜、氮化铝膜、氮氧化铝膜、氧化铝膜、氧化镓膜等可被用作具有高阻挡性的绝缘膜。通过使用具有高阻挡性的绝缘膜,可防止诸如水分或氢气的杂质进入岛状氧化物半导体层、栅绝缘层、或岛状氧化物半导体层与另一绝缘层和其邻近处之间的界面。作为形成氧化物半导体膜603的情形,优选使用截留真空泵(诸如低温泵)以便去除绝缘层607的沉积腔中残留的水分。当在使用低温泵排气的沉积腔中形成绝缘层607时,可减少包含在绝缘层607中的杂质浓度。作为用于去除残留在绝缘层607的沉积腔中的水分的排气单元,可使用设置有冷槽的涡轮泵。作为绝缘层607的形成过程中所使用的溅射气体,优选使用去除了诸如氢气、水、具有羟基的化合物、或氢化物等杂质的高纯度气体。要注意,可在形成绝缘层607后进行第二热处理。可在具有氮气、极干空气或稀有气体(诸如氩气或氦气)的气氛下,优选在高于或等于200°C且低于或等于400°C,例如高于或等于250°C且低于或等于350°C的温度下进行该热处理。气体中的水含量优选为20ppm或更低,更优选为1ppm或更低,且再优选为10ppb或更低。例如,在氮气气氛下、在250°C下执行一小时的热处理。替代地,可在高温下用与第一热处理一样短的时间进行RTA热处理。即使第一热处理造成岛状氧化物半导体层中的缺氧,通过在设置包含氧的绝缘层607后进行热处理,氧从绝缘层607供给到岛状氧化物半导体层中。通过将氧供应到岛状氧化物半导体层中,在岛状氧化物半导体层中减少作为供体的缺氧,并且可满足化学计量比。因此,可使岛状氧化物半导体层变成大致i型,且可减小归因于缺氧的晶体管的电特性变化,这改善了电特性。只要在形成绝缘层607后进行,则对第二热处理的定时没有具体限制,且第二热处理可由诸如形成树脂膜中的热处理或减小透光导电膜电阻的热处理等另一步骤来替代,通过这些可使岛状氧化物半导体层成为大致i型而不增加步骤。此外,通过使岛状氧化物半导体层经历氧气气氛中的热处理以使氧被添加到氧化物半导体,可减少岛状氧化物半导体层中的作为供体的缺氧。热处理的温度例如高于或等于100°C且低于350°C,优选高于或等于150°C且低于250°C。优选用于氧气气氛中的热处理的氧气不包含水、氢气等。引入到热处理装置中的氧气的纯度优选为6N(99.9999%)或更高、更优选为7N(99.99999%)或更高(即,氧气中杂质的浓度优选为1ppm或更低、更优选为0.1ppm或更低)。在本实施例中,在惰性气体气氛下或氧气气体气氛下进行第二热处理(优选在高于或等于200°C且低于或等于400°C,例如高于或等于250°C且低于或等于350°C的温度下)。例如,在氮气气氛下、在250°C下执行一小时的第二热处理。在第二热处理中,部分的氧化物半导体层(沟道形成区)在与绝缘层607接触的情况下被加热。通过以上步骤,对氧化物半导体膜进行第一热处理,以使有意地从氧化物半导体层中去除诸如氢气、水分、羟基、或氢化物(还称作氢化合物),且可通过第二热处理步骤供应作为氧化物半导体的主要成分之一的、在去除杂质的步骤中被减少的氧。因此,氧化物半导体层被高度提纯成电i型(本征)氧化物半导体。当具有大量缺陷的氧化硅层被用作绝缘层607时,被包含在氧化物半导体层中的诸如氢气、水分、羟基或氢化物的杂质通过在形成氧化硅层后进行的热处理扩散到氧化硅层,以使氧化物半导体层中的杂质进一步被减少。当包含过量氧的氧化硅层被用作绝缘层607的情况下,在形成绝缘层607后进行的热处理具有将绝缘层607中的氧移动至氧化物半导体层604中的效果,从而改善氧化物半导体层604的氧浓度并高度提纯氧化物半导体层604。通过以上步骤,形成晶体管610(参见图9D)。晶体管610具有底栅结构且包括:栅电极层601;栅电极层601上的栅绝缘层602;岛状氧化物半导体层604,其位于栅绝缘层602上且与栅电极层601交叠;以及源电极层605a和漏电极层605b,它们是形成在岛状氧化物半导体层604上的一对电极层。要注意,通过在绝缘层607上形成导电膜且之后图案化该导电膜,可在与岛状氧化物半导体层交叠的位置中形成背栅电极。在形成背栅电极的情况下,优选形成绝缘层来覆盖背栅电极。可使用与栅电极或任何导电层的材料和结构相似的材料和结构来形成背栅电极。背栅电极的厚度设置成10nm至400nm,优选为100nm至200nm。例如,背栅电极可用以下方式形成:形成导电膜,该导电膜中层叠有钛膜、铝膜和钛膜;然后通过光刻法等形成抗蚀剂掩模,并通过蚀刻移除不需要的部分以使导电膜被处理成(图案化成)期望形状。背栅电极还起到遮光膜的作用,由此可减少诸如负偏置温度应变光降解的晶体管的光降解,且可提高可靠性。可附加地在绝缘层607上形成保护绝缘层609。作为保护绝缘层609,例如,可通过RF溅射法形成氮化硅膜。由于RF溅射法具有高生产率,优选将其用作保护绝缘层的形成方法。作为保护绝缘层,优选使用不包含诸如水分的杂质并阻挡杂质从外部进入的无机绝缘膜;例如,可使用氮化硅膜、氮化铝膜等。在本实施例中,使用氮化硅膜形成保护绝缘层609(参见图9E)。在本实施例中,通过将其上形成有直到(包含)绝缘层607的组件的衬底600加热至100°C至400°C的温度,引入包含去除了氢气和水的高纯度氮气的溅射气体,并将硅半导体用作靶来形成作为保护绝缘层609的氮化硅膜。同样在该情况下,优选在形成保护绝缘层609时去除处理腔中残留的水分,与绝缘层607的情形一样。在形成保护绝缘层后,可在高于或等于100°C且低于或等于200°C的温度下、在空气中进一步进行热处理达长于或等于1小时且短于或等于30小时的时间。可在固定加热温度下进行该热处理。替代地,可重复多次地进行加热温度的以下改变:加热温度从室温上升到高于或等于100°C且低于或等于200°C的温度,然后再下降到室温。本实施例中描述的晶体管表征为截止状态中的漏电流极低。通过将这种晶体管应用到如以上实施例中所描述的基准电压生成电路的启动电路,可防止在存储节点中保持的电压受到归因于晶体管漏电流的电压降的影响,且可长时间保持该电压。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。(实施例6)在半导体层中包含氧化物半导体的晶体管可具有各种模式。在本实施例中,将参考图10-10D描述具有与实施例5的晶体管610的结构不同的结构的晶体管示例。要注意,可如以上实施例地形成与以上实施例中的部分相同的部分或具有相似功能的部分,且可如以上实施例地进行与以上实施例中的步骤相同的步骤或相似的步骤;因此,在本实施例中不重复该描述。此外,相同部分的具体描述被省略。图10A所示的晶体管620是栅极形成在半导体层下方(相对于在衬底侧而言)的底栅晶体管。晶体管620具有底栅结构且包括:栅电极层601;栅电极层601上的栅绝缘层602;源电极层605a和漏电极层605b,它们是形成在栅绝缘层602上的一对电极层;以及岛状氧化物半导体层604,其与源电极层605a、漏电极层605b、以及栅绝缘层602接触,并与栅电极层601交叠。图10B所示的晶体管630是在相对于氧化物半导体层的背沟道侧(与栅电极相反的侧)上设置沟道保护层的底栅结构示例。在使用沟道保护层的情况下,可抑制在蚀刻源电极和漏电极时对氧化物半导体层造成的破坏。晶体管630具有沟道保护底栅结构且包括:栅电极层601;栅电极层601上的栅绝缘层602;岛状氧化物半导体层604,其在栅绝缘层602之上且与栅绝缘层601交叠;沟道保护层627,其与氧化物半导体层604接触,且与氧化物半导体层604的形成有沟道的区域交叠;以及源电极层605a和漏电极层605b,它们是形成在氧化物半导体层604上的一对电极层。图10C所示的晶体管640是顶栅晶体管的一个示例。晶体管640是顶栅晶体管,包括:基底绝缘层637;岛状半导体层604,其在基底绝缘层637之上;源电极层605a和漏电极层605b,它们是与氧化物半导体层604接触的一对电极层;栅绝缘层602,其与氧化物半导体层604中的介于源电极层605a和漏电极层605b之间的沟道形成区接触;以及栅电极层601,其在栅绝缘层602之上并与氧化物半导体层604中的沟道形成区交叠。要注意,晶体管640可包括分别经由形成在栅绝缘层602中的接触孔连接至源电极层605a和漏电极层605b的源布线层636a和漏布线层636b。图10D所示晶体管650是具有不同于晶体管640的结构的顶栅晶体管的一个示例。晶体管650是顶栅晶体管,包括:基底绝缘层637;源电极层605a和漏电极层605b,它们是基底绝缘层637之上的一对电极层;氧化物半导体层604,其填充源电极层605a和漏电极层605b之间的缝隙;栅绝缘层602,其在源电极层605a、漏电极层605b及氧化物半导体层604之上;以及栅电极层601,其在栅绝缘层602之上且与氧化物半导体层604的形成有沟道的区域交叠。要注意,与以上情形一样,晶体管650可包括分别经由形成在栅绝缘层602中的接触孔连接至源电极层605a和漏电极层605b的源布线层636a和漏布线层636b。尽管未图示,在具有顶栅结构的晶体管640或晶体管650中,第二栅电极层(也称作背栅电极层)可形成在衬底与基底绝缘层之间来与氧化物半导体层604中的沟道形成区交叠。在该情况下,两个栅电极层中的一个可被称作第一栅电极层,而另一个可被称作背栅电极。第一栅电极层和背栅电极层可彼此电连接以起到一个电极的作用。通过改变背栅电极层的电压,可改变晶体管的阈值电压。背栅电极层可以是电绝缘的,即,处于浮动状态、接收电压、或接收诸如接地电压的固定电压或公共电压。通过控制向背栅电极层施加的电压电平,可控制晶体管的阈值电压。在顶栅结构中,当用背栅电极层覆盖氧化物半导体层604时,可防止来自背栅电极层一侧的光进入氧化物半导体层604。因此,可防止氧化物半导体层604的光降解,且可防止晶体管的诸如阈值电压偏移等特性劣化。以上晶体管的每一个可具有极低的截止状态电流。通过将这种晶体管应用到基准电压生成电路的启动电路,像以上实施例中所描述的启动电路,可防止在存储节点中保持的电压受到归因于晶体管漏电流的电压降的影响,且可长时间保持该电压。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。(实施例7)在本实施例中,将描述计算晶体管的截止状态电流的示例。首先,将参考图13描述用于计算截止状态电流的特性评估用电路的配置。在本实施例中,特性评估用电路包括彼此并联连接的多个测量系统801。具体地,图13示出其中8个测量系统801并联连接的特性评估用电路的示例。测量系统801包括晶体管811、晶体管812、电容器813、晶体管814、以及晶体管815。晶体管811是注入电荷用晶体管。晶体管811的第一端子连接至供应有电位V1的节点,而晶体管811的第二端子连接至晶体管812的第一端子。晶体管811的栅电极连接至供应有电位Vext_a的节点。晶体管812是漏电流评估用晶体管。要注意,本实施例中的漏电流意味着包含晶体管截止状态电流的漏电流。晶体管812的第一端子连接至晶体管811的第二端子,而晶体管812的第二端子连接至供应有电位V2的节点。晶体管812的栅电极连接至供应有电位Vext_b的节点。电容器813的第一电极连接至晶体管811的第二端子和晶体管812的第一端子。电容器813的第二电极连接至供应有电位V2的节点。晶体管814的第一端子连接至供应有电位V3的节点,而晶体管814的第二端子连接至晶体管815的第一端子。晶体管814的栅电极连接至晶体管811的第二端子、晶体管812的第一端子、以及电容器813的第一电极。要注意,与晶体管814的栅电极连接的部分被称作节点A。晶体管815的第一端子连接至晶体管814的第二端子,而晶体管815的第二端子连接至供应有电位V4的节点。晶体管815的栅电极连接至供应有电位Vext_c的节点。测量系统801输出一节点的电位作为输出信号电位Vout,该节点与晶体管814的第二端子和晶体管815的第一端子连接。在本实施例中,用作晶体管811的晶体管如下:该晶体管在有源层中包含氧化物半导体,并包括包含在有源层中且沟道长度L为10μm、沟道宽度W为10μm的沟道形成区。要注意,沟道形成区对应于半导体膜的一区域,该沟道形成区存在于源电极和漏电极之间并与栅电极交叠,其中该沟道形成区与栅电极之间置有栅绝缘膜。作为晶体管814和晶体管815的每一个所使用的晶体管如下:该晶体管在有源层中包含氧化物半导体,并包括包含在有源层中且沟道长度L为3μm、沟道宽度W为100μm的沟道形成区。作为晶体管812,使用在有源层中包含氧化物半导体的底栅晶体管。在该晶体管中,源电极和漏电极与有源层的上部接触,未设置其中源电极和漏电极与栅电极接触的区域,且设置宽度为1μm的偏置区。设置偏置区可减小寄生电容。作为晶体管812,使用包含在有源层中的沟道形成区具有以下表1中的条件1-6中记录的各种尺寸的晶体管。[表1]
xa0xa0沟道长度L[μm]
xa0xa0沟道宽度W[μm]
xa0xa0条件1
xa0xa01.5
xa0xa01×10⁵
xa0xa0条件2
xa0xa03
xa0xa01×10⁵
xa0xa0条件3
xa0xa010
xa0xa01×10⁵
xa0xa0条件4
xa0xa01.5
xa0xa01×10⁶
xa0xa0条件5
xa0xa03
xa0xa01×10⁶
xa0xa0条件6
xa0xa010
xa0xa01×10⁶
在测量系统801中不设置注入电荷用晶体管811的情况下,在向电容器813注入电荷时,用于漏电流评估的晶体管812不需要被导通。在该情况下,如果用于漏电流评估的晶体管812是需要长时间从导通状态变成稳定截止状态的元件,测量将需要长时间。如图13所示,在测量系统801中独立地设置注入电荷用晶体管811和漏电流评估用晶体管812,由此在注入电荷时,可将漏电流评估用晶体管812总是保持成处于截止状态。因此,可缩短测量所需时间。此外,通过在测量系统801中独立地设置注入电荷用晶体管811和漏电流评估用晶体管812,这些晶体管的每一个可具有适当尺寸。此外,通过使评估漏电流用晶体管812的沟道宽度W大于注入电荷用晶体管811的沟道宽度,可使除漏电流评估用晶体管812的漏电流外的特性评估用电路内部的漏电流相对低。结果,可高精度地测量漏电流评估用晶体管812的漏电流。此外,由于不需要在注入电荷时导通漏电流评估用晶体管812,可防止由沟道形成区中的流入节点A的部分电荷造成的节点A的电位波动影响。另一方面,通过使注入电荷用晶体管811的沟道宽度W小于漏电流评估用晶体管812的沟道宽度,可使注入电荷用晶体管811的漏电流相对低。此外,由沟道形成区中的流入节点A的部分电荷造成的节点A的电位波动在注入电荷时几乎没有影响。另外,通过如图13所示地并联连接多个测量系统801,可较精确地计算特性评估用电路的漏电流。接着,将描述使用图13所示特性评估用电路的用于计算晶体管截止状态电流的具体方法。首先,将参考图14描述用于测量图13所示特性评估用电路的漏电流的方法。图14是示出使用图13所示特性评估用电流的用于测量漏电流的方法的时序图。在使用图13所示特性评估用电路的用于测量漏电流的方法中,提供写入周期和保持周期。将在下文中描述各周期的操作。要注意,在写入周期和保持周期两者中,电位V2和电位V4均设置成0V、电位V3设置成5V、而电位Vext_c设置成0.5V。首先,在写入周期中,电位Vext_b设置成电位VL(-3V),在该情况下晶体管812截止。电位V1设置成写入电位Vw,且之后电位Vext_a设置成电位VH(5V),在该情况下晶体管811在一定周期内处于导通状态。用以上方式,电荷积聚在节点A中,且节点A的电位变为等于写入电位Vw。然后,电位Vext_a设置成电位VL,在该情况下晶体管811截止。之后,电位V1设置成电位VSS(0V)。接着,在保持周期中,测量由保持在节点A中的电荷量改变所造成的节点A的电位改变量。可根据电位改变量来计算在晶体管812的源电极和漏电极之间流动的电流值。以该方式,可进行节点A中电荷的积聚以及节点A的电位改变量的测量。可重复进行节点A中电荷的积聚以及节点A的电位改变量的测量(也称作积聚及测量操作)。首先,重复15次的第一积聚及测量操作。在第一积聚及测量操作中,在写入周期中输入5V电位作为写入电位Vw,并在保持周期中保持1小时。接着,重复2次的第二积聚及测量操作。在第二积聚及测量操作中,在写入周期中输入3.5V电位作为写入电位Vw,并在保持周期中保持50小时。然后,进行1次的第三积聚及测量操作。在第三积聚及测量操作中,在写入周期中输入4.5V电位作为写入电位Vw,并在保持周期中保持10小时。通过重复积聚及测量操作,可确认所测量的电流值为稳定状态中的值。换言之,有可能从流经节点A的电流I_A中去除瞬态电流(测量开始后随时间减小的电流)。因此,可较精确地测量漏电流。一般而言,可通过以下等式用输出信号的电位Vout的函数来表达节点A的电位V_A。[公式1]V_A=F(Vout)可使用节点A的电位V_A、连接至节点A的电容C_A、以及常数(const)通过以下等式来表达节点A的电荷Q_A。连接至节点A的电容C_A是电容器813的电容和电容器813的电容之外的其它电容之和。[公式2]Q_A=C_AV_A+const节点A的电流I_A是流入节点A中的电荷(或者从节点A流出的电荷)的时间导数;因此,由以下等式表达节点A的电流I_A。[公式3] I A ≡ ΔQ A Δt = C A · ΔF ( Vout ) Δt ]]>例如,Δt约为54000秒。节点A的电流I_A可使用连接至节点A的电容C_A和输出信号的电位Vout来计算,且可相应地获得特性评估用电路的漏电流。接着,示出通过使用以上特性评估用电路的测量方法所得的输出信号的电位Vout的测量结果,并示出根据这些测量结果计算的特性评估用电路的漏电流的值。图15示出条件1、条件2和条件3下的输出信号的电位Vout与测量(第二积聚及测量操作)中的流逝时间Time之间的关系作为示例。图16示出测量中流逝的时间Time与根据测量值计算的漏电流之间的关系。发现测量开始后输出信号的电位Vout波动,且获得稳定状态所需时间为10小时或更长。图17示出条件1-6下的节点A的电位与漏电流之间的关系,这是根据测量值来估计的。在图17中,例如,在条件4下,当节点A的电位为3.0V时,漏电流为28yA/μm。因为漏电流包含晶体管812的截止状态电流,所以晶体管812的截止状态电流可被认为是28yA/μm或更低。如上所述,使用包含高度提纯的氧化物半导体层作为沟道形成层的晶体管的特性评估用电路的漏电流充分低,这意味着晶体管的截止状态电路充分低。通过将这种晶体管应用到基准电压生成电路的启动电路,像以上实施例中所描述的启动电路,可防止在存储节点中保持的电压受到归因于晶体管漏电流的电压降的影响,且可长时间保持该电压。可通过适当地结合本说明书中描述的其它实施例的任一个来实现本实施例。示例1在本示例中,将描述启动时间的计算,启动时间是输入功率到输出电压稳定的周期,该计算在与常规启动电路连接的基准电压生成电路上以及与根据本发明的一个实施例的启动电路连接的基准电压生成电路上进行。另外,将示出比较结果。图11A是与具有常规配置的启动电路701连接的β倍增自偏压基准电压生成电路的电路图,且在其上进行本示例的计算。启动电路701具有与本说明书中描述的图8的启动电路501的配置相似的配置,因此省去其描述。基准电压生成电路702具有与实施例4中描述的基准电压生成电路302相同的配置,因此省略其说明。要注意,在本示例中,10pF的负载电容器731连接至基准电压生成电路702作为输出负载。图11B是示出根据本发明的一个实施例的启动电路751连接至基准电压生成电路702的配置的电路图,且在其上进行本示例的计算。包含在启动电路751中的两个晶体管(晶体管741a和晶体管471b)各自的源极和漏极中的一个连接至电容器(电容器743a或电容器743b),由此所给予的电压可被保持在晶体管与电容器之间的节点中。两个晶体管的栅极连接至功率输入部VDD,且晶体管取决于电源电压导通或截止。要注意,在本示例中,基于启动电路751中的两个电容器各自的电容为200pF的假设而进行计算。图11中的基准电压生成电路702具有与图11B中的配置相同的配置。在本示例中,基于n沟道晶体管的阈值电压为0.35V且p沟道晶体管的阈值电压为-0.35V的假设进行该计算。接着,将描述其计算与结果。在使用图11A和图11B所示电路的情况下,计算向功率输入部VDD施加电源电压的时刻到基准电压生成电路702的输出部OUT的电压稳定的时刻的周期的长度。在时刻0.5μs向功率输入部VDD施加1.7V的电源电压,并计算施加电源电压之前和之后的输出部OUT的电压。要注意,在图11B中的电路上,基于在施加电源电压的时刻5μs之前,预先在连接至晶体管741a和晶体管741b的存储节点中保持处于稳定平衡状态中的输入节点的电压的假设进行计算。具体地,预先在连接至晶体管741a的存储节点中保持1.29V的电压,且预先在连接至晶体管741b的存储节点中保持0.37V的电压。图12示出计算结果。出于清楚起见,使用通过每次输出部OUT的电压除以作为稳定平衡状态中的电压的电压V_ref获得的电压。在图12中,水平轴表示时间,而垂直轴表示输出部OUT的电压除以V_ref所获得的电压。在曲线图中,由实线表示的曲线762示出使用图11B中的本发明的一个实施例的配置的情形下的计算结果,而由虚线表示的曲线761示出使用图11A中的常规配置的情形下的结果。从表示常规配置的计算结果的曲线761,观察到从输入功率的时刻5μs处电压逐渐升高,然后跳变至作为稳定平衡状态中电压的电压V_ref的约120%的电压。此后,电压逐渐降低至稳定平衡状态中的电压V_ref,并在输入功率后的约15μs后的时刻20μs处达到稳定平衡状态中的电压左右。另一方面,从表示本发明的一个实施例的配置的计算结果的曲线762,观察到在输入功率的时刻5μs后电压即时升高至作为稳定平衡状态中的电压的电压V_ref,且没有跳变。输入功率到基准电压生成电路达到稳定平衡状态的时刻的周期的长度短于1μs,这大致是常规配置的结果的1/15。如上所述,可确认,当使用如图11B中的电压保持在晶体管和电容器之间的存储节点中的启动电路时,与使用常规启动电路的情形相比,基准电压生成电路达到稳定平衡状态所需时间显著缩短。本申请基于2010年8月26日向日本专利局提交的日本专利申请S/N.2010-189141,该申请的全部内容通过引用结合于此。